大国工业 第七百八十五章 光刻机的技术之墙得用水泡！

之前的猛士车，虽然也叫做混动，但是全部都是电驱，燃油发动机只用来发电，动力系统类似于串联，现在发动机和电动机一起发力，这就类似于并联，而燃油发动机和电动机的扭矩爆发之类的是不一样的，把两者结合到一起，就需要先进的匹配能力了。

此时，协议已经签署完毕，在场的众人都一起鼓掌，一名穿着海军制服的军官走上来。

“秦总，贵方能将一两千转的燃油发动机和上万转的电动机给匹配到一起，是不是说，也能将一两千转的燃油发动机和上万转的燃气轮机给匹配到一起了？”

“郑老，您觉得呢？”秦锋笑呵呵地看着面前的郑明。

柴油机省油，但是力气小，燃气轮机费油，但是功率足，所以，海军主力军舰的动力，已经过渡到了柴燃交替上。

所谓交替，就是低速的时候用柴油机，高速的时候用燃气轮机，两者为何不一起发力？

就是刚刚的这个问题：一两千转的柴油机和动辄上万转的燃气轮机，怎么并车？其中遇到的问题有很多！

世界上也有少数柴燃联合的动力，但是毫无疑问，都需要复杂的齿轮箱，还得要求加工的精度相当高，国内目前还做不到。

“别人不行，但是，你们太平洋集团肯定有办法！”

“是的，咱们当然有办法，不过，不是机械连接的方式，而是用电力来连接。”

“全部发电？”郑明当然知道，西方已经开始搞综合电力系统了，不过……国内才刚刚解决军舰的心脏病问题，暂时还顾不上那么多。

“没错，全部发电，然后把电力并到一起，随着技术的发展，军舰的耗电量也是越来越大，把所有的能源都用来发电，供给各个子系统，这样是最好的选择。”

别的不说，目前搞的四面相控阵雷达，那就绝对是耗电大户！美国佬的宙斯盾系统，如果一直开着相控阵雷达的话，那军舰的续航能降低一两千海里！

消耗的电力很多，那动力系统也得有同样高的发电能力，但是平时还用不了这么多电力，就会浪费。

解决的办法，就是全舰综合电力系统！

低速航行，开柴油机带动，高速航行，根据需要增加一台燃气轮机，战时需要大量的电力供应，再把第二台燃气轮机打开，全部动力都用来供电，雷达、推进系统都能满足！

“没错，这是最好的选择，秦总……”郑明看向秦锋：“我代表海军，请求你们太平洋集团帮忙研发这种系统。”

“咳咳……”秦锋对于请求这个词，非常的诧异：“我们……”

“秦总，您可不能推辞。”

“好吧，不推辞。”秦锋原本还想说，我们太平洋集团只生产民品，但是现在要说的话，十有八九会挨揍啊！

目前，矿山车之类的都在紧锣密鼓的研发之中，大功率的驱动电机技术也在慢慢成熟，电力的分配系统也在成熟，给海军研制这种系统，应该不是特别困难，更何况，咱们还有了氮化镓组件，提升功率轻轻松松。

这些看上去和电子设备没关系，实际上，还是因为咱们的电子发展迅猛的原因！毕竟，动力系统的匹配，都是需要电子设备的指挥的。

接到了这个任务，秦锋也没有觉得压力大，转手交给集团旗下相关部门就可以了，至于海军的拨款……哪怕不给拨款也得干啊。

于是，开完了会议，秦锋就来到了高科技研发中心，得到了任务，大家伙立刻就拍着胸脯保证，小问题，尽快搞定！

“徐教授，你有事？”看着徐教授那欲言又止的样子，秦锋开口问道。

“秦总，目前咱们的芯片加工水平已经发展到了0.18微米，我们继续向新一代的光刻机研发，在这个过程中，我们遇到了技术瓶颈。”此时的徐教授，脸上带着尴尬。

当初，秦总慧眼识珠，投资徐教授的光刻机，之后，国产光刻机技术就开始爆发了，一直都领先整个世界。

但是现在……己方在这里举步不前，那国产芯片技术，就要被国外逐渐追赶上来，甚至还有被反超的可能。

这段时间，徐教授非常着急，头发都白了！

今天，秦总既然过来了，那就给他汇报一下吧，万一秦总有什么好主意呢？

“光源问题？”秦锋倒是想到了什么，开口问道。

“没错，就是光源问题！”徐教授兴奋地说道：“随着光刻机技术的进步，我们需要的激光光源，波长也会越来越小，现在，新一代激光光源，遭遇了很大问题。”

芯片制造中，最关键的就是光刻，这需要激光光源！

这些年来，激光光源在不断进步，从436纳米的 g-line，到365纳米的 i-line，再到248纳米 KrF，目前使用的是193纳米的 ArF光源，这条路一直走得很通畅，但是，到了193纳米之后，就开始遇到问题了！

“按照技术路线，接下来就轮到157纳米的F2光源了，但是这个光源的问题很大。”徐教授说道：“这种波长下，熔石英的吸收很大，没法用熔石英来做透射式系统，目前业界的期待是用CaF2来做，但是，依旧会遇到双折射的问题……咱们卡在这里已经半年多了……”

己方原地踏步，国外在追赶，用不了多久，就会被国外追上了！徐教授很着急！

在后世，秦锋也并不知道这个157纳米的光源为啥不能用，但是他知道，尼康赌这个系统，然后失败了，而当时无数次濒临破产的ASML，把制胜的法宝押在了林本坚的浸润式光刻机上，于是成功了。

所以……这还用说吗？

“既然这种光源有问题，那就不要用了。”

“那我们用什么？”徐教授的目光中带着焦虑。

“还用之前的193纳米。”

徐教授睁大了眼睛，不可思议地看向秦锋，秦总，这个光源不够用啊！

不过……秦总既然这么说了，肯定有他的道理，还是听一听他怎么说。

“将这个光源穿过去离子水，水的折射率是多少来着？这样一换算，应该能将波长降低到130纳米左右吧？”

徐教授深深地呼吸了一口气，一旁的倪老已经开口了：“换算过来，是133纳米，这样比157纳米的光源还要小，但是……”

徐教授的脸上带着苦笑：“秦总，咱们的光刻机里是有电路的，您要在光刻机里加水……”

这听上去，有些扯淡啊！

秦锋笑了笑，林本坚当年在硅谷介绍这种技术的时候，所有人都以为他是在扯淡，毕竟之前的光刻机都是干式的，要在里面加水？脑子进水了吧？

只有那个即将破产的ASML，决定押这种技术，然后，ASML就发展成为了世界第一光刻机大厂，苦心钻研157纳米光源的尼康，就彻底落后了！

“听我的，没有错，早期光刻机还是用液压驱动的，里面的液压油，不也是液体的吗？”

最开始的光刻机，还真是液压驱动，万一，万一中的万一，管道崩了，那液压油肯定会喷射的到处都是，正在生产中的所有芯片都会报废。所以后来，都改成了电机驱动。

不过，当时高压的液压油都敢用，现在用一些水，有何不可？

“既然秦总确定，那我们就用这种技术，不过……这也只能解决暂时的问题，继续提升工艺，还是会遇到拦路虎。”

193纳米经过折射变成了133纳米，也就意味着，0.13微米的工艺能解决了，之后进入纳米时代呢？还是会遇到光刻机的光源问题的！

“接下来，一步到位，开发EUV光刻机，光源使用13.5纳米的极紫外波长。”

徐教授一阵惊讶：“这也太快了吧？”

“一步步来，还会不断地遇到技术难题，还不如加大攻关难度，将这个捣鼓出来，以后十年二十年，都不用担心光源问题了。”

秦锋不懂具体的技术细节，但是他懂技术的发展路线，仅仅是这个，就会让己方的技术遥遥领先对手了。

在光刻机的技术探索上，有很多失败的例子，尼康的157纳米是个坑，同时，还有光刻机生产厂研究过126纳米光源，但是，这个波长更奇葩，不仅仅是熔石英会吸收，任何材料的吸收都很厉害，透镜不能用，只能用全反射的方式，结构跨度太大，分辨率也没提升多少。

所以，后世的光刻机厂商各种研究，最终认为，干脆一步到位，上13.5纳米的光源。

这个光源的研究，也是经过了长时间的尝试的，甚至最初还是13.4纳米，各种研究之后，才锁定13.5纳米。

“这个光源……”徐教授仔细地思考了一番：“得在真空中，还得是反射结构。”

反正继续向下选，各种光源都是需要真空环境加反射镜的，和之前的结构完全不同，所以，一步到位！

寻找反射的条件也不容易，最终工程师们找到了反射率最高的Mo-Si布拉格反射器，一层Mo薄膜加上一层Si薄膜，它的最高反射率在13.5纳米波长的位置，于是，这种光源就被确定了下来。

其他的技术路线，X光之类的，都被超越了。

不过，最初的时候，精度并不是特别高，只是比193浸润式光刻机提升了三倍而已，就算是这样，过渡到纳米时代也没问题了，之后不断研究，提升分辨率就可以了。

“具体的结构你们来选择，具体的技术难关，你们来攻克，不过，这条技术路线绝对是没问题的，你们按照这条路线发展就可以！”

秦总虽然是个外行，但是每次提出来的建议都是非常正确的，所以，徐教授没有继续犹豫，点头说道：“好，秦总，那我们就按照这个技术路线来！”

其中有多少技术难题，秦锋也不知道，这是手下们要干的！

现在，总算是没问题了吧？

看到徐教授依旧皱着眉头的样子，秦锋继续问道：“徐教授，还有问题？”

“目前，尼康正在研究193纳米光刻机，据说研究顺利，台积电已经下了几台订单，用不了多久，台积电也将会向0.18微米工艺发起冲击，而我们……”

秦锋皱着眉头，他最近一直忙活着造车等业务，高科技这一块，从来没输过，所以就没太多关注。

按说台积电应该走下坡路才对，没想到，居然又活过来了？

“台积电后来又从硅谷挖了一批人过来，尤其是蒋尚义，他是个技术天才，继续领导台积电。”

台积电能成为后世的庞然大物，那也是有资本的，林本坚、杨光磊、蒋尚义、孙元成、梁孟松、余振华六个技术大能，就是台积电最强悍的人，而台积电的真正发迹，也就是打赢了0.13微米制程这场仗。

将铝互联变成铜互联，使用浸润式光刻机，解决漏电问题……这几个人功不可没。

其中，蒋尚义是在97年才加入进来的，而且，一屁股就坐到了研发副总的位置上，以至于引来了内斗，其中一部分人离开，有的去了三星，有的去了中芯国际，然后台积电就开始玩起来了专利侵权的官司游戏来打击对手。

现在，一部分技术大能走了，蒋尚义过来，居然成了台积电的一把手，领导台积电搞先进技术，还试图想要翻身？

“没关系，他们搞他们的，我们搞我们的，我们搞竞争，那也是堂堂正正。”

徐教授点头：“好。”

看着众人离开的背影，秦锋看向了身边的邓小龙：“龙哥，盯住岛国的光刻胶企业，当他们出口ArF光刻胶给台积电的时候……”

岛国的电子产业，曾经是相当发达的，甚至把英特尔的内存制造业务都给挤黄了，这引起了硅谷的集体不满，然后，一通操作猛如虎，岛国的电子产业就衰落下去了。

这并不意味着岛国就彻底和电子产业隔绝了，在某些领域里，岛国还是处于零点地位的，比如说光刻胶！

芯片制造是个大工程，需要很多上游配套厂家，光刻胶就是其中之一。

在晶圆放到光刻机上之前，需要在上面涂抹光刻胶，光刻机雕刻的，其实就是这层光刻胶，激光照射的地方，光刻胶就挥发了，然后就留下来了电路图，后面才是刻蚀机，按照光刻出来的电路图来刻蚀具体的电路。

光刻胶的好坏，决定了芯片的成品率，同时，不同的光刻机，也对应着不同的光刻胶，毕竟，它得对这种光源最敏感才行。

在后世，南棒国和岛国发生矛盾的时候，岛国就曾经断供光刻胶，让看似强大的三星瞬间陷入尴尬境地。

实际上，光刻胶这东西虽然有难度，也并不是被岛国彻底垄断的，只要花费力气，肯定能搞出来。

但是……所谓全球产业链，将很多芯片企业给锁死了，岛国的光刻胶，供应了全世界，于是就有了足够多的订单来分摊研发成本，其他企业想要涉足这个市场，那就意味着要面临亏本的境地，这对资本世界来说，明显是不合适的。

就拿2022年的数据来说，半导体规模为5735亿美元，而光刻胶只有22亿美元左右，不到百分之一，没必要投入巨资研发。

但是……当发现被卡脖子之后，也会咬牙研究，比如说，三星被卡了之后，一口气投入了六万亿南棒元来研制，到了2022年，他们终于研究出来了EUV光刻胶，成功地用到了生产线上。

于是，岛国就尝到了曾经断供的恶果：南棒国的市场没了！

现在，全球的光刻胶，几乎都被岛国的JSR、东京应化、信越化学、富士电子等企业所瓜分，岛国就算是芯片行业没落了，在半导体制造链里，依旧处于上游供应链的位置！

当然，东方不会给岛国这个机会，东方的芯片产业，整个产业链都在国内，不用担心断供。

不过，台积电等等芯片厂，不可能从大陆采购，哪怕岛国的贵，肯定也得从岛国采购。

现在，台积电要玩0.18微米制程，那也得有合格的光刻胶！

“嗯，没问题。”邓小龙说道：“我们在岛国的力量还是很强的，完全可以在中途动手脚。”

秦锋摇头：“不，不，暂时只是监控。”

监控？

这下轮到邓小龙不解了。

“先让他们攻克这种工艺，然后全世界的订单都会飞向台积电，然后，在他们签署下大批订单，开始量产的时候，我们再动手脚，光刻胶只是其中一环，接下来还有断水、断电等等，总之，让他们几个月里，生产不出合格的芯片来！这样一来，他们的合同到期，就是赔偿了！”

这次，要彻底玩死台积电！

邓小龙睁大了眼睛，秦总，您真黑啊！